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退火对Co/Cu多层膜微观结构和磁性能的影响

胡佳智 , 陈冷

材料热处理学报

研究了退火对磁控溅射Co/Cu多层膜微观结构和磁性能的影响.用扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)观察了沉积态及在不同温度退火后Co/Cu多层膜表面及截面的显微组织,用能谱仪(EDS)分析了退火后Co/Cu多层膜截面的元素分布,用综合物性测量系统(PPMS)对Co/Cu多层膜的磁滞回线...

关键词: Co/Cu多层膜 , 退火 , 微观结构 , 磁性能