栗大超
,
徐临燕
,
傅星
,
胡小唐
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.036
本文阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁厚度的理论和方法,并界定了基于AFM的厚度测量方法的适用条件,对基于AFM的厚度测量的两个典型应用进行了介绍.对硅纳米梁进行了厚度测量,并进行了重复性实验,梁的平均测量度为160.36nm.
关键词:
纳机电系统
,
纳米梁
,
厚度测量
,
AFM
,
弯曲测试
贾威
,
王清月
,
傅星
,
胡小唐
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.010
本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理,并着重指出了其与长脉冲激光的区别.飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料,并且,加工精度极高,可进行亚微米尺寸的精密加工.通过分析飞秒激光材料微加工的特性,综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状.
关键词:
激光技术
,
飞秒激光
,
激光微加工
,
微结构改性
,
多光子吸收
,
光子晶体
