胡小草
,
刁训刚
,
郝雷
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2008.03.009
利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜, 其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备, 同时采用Ti作为过渡层, 有效地防止了在溅射最外层TiO2时对Ag膜连续性的破坏.利用紫外可见分光光度计, 四探针电阻仪, 扫描电子显微镜, 红外比辐射率测量仪对...
关键词:
大面积
,
柔性基底
,
中频反应溅射
,
Ti过渡层
,
红外发射率
