李斌
,
但敏
,
郭爱波
,
刘玉萍
,
陈枫
,
刘明海
,
胡希伟
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.05.004
概述了用于电容器储能的新型绝缘材料的国内外研究现状,介绍用于提高绝缘材料介电性能的新方法,即低温等离子体技术.从低温等离子体的化学活性出发,重点阐述了可以用于制备、改性绝缘材料的不同等离子体技术和这些技术的发展前景.
关键词:
绝缘材料
,
介电性能
,
低温等离子体技术
郭爱波
,
刘玉萍
,
陈枫
,
李斌
,
但敏
,
刘明海
,
胡希伟
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.06.002
鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜.扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶ 1;X射线光电子能谱分析得出样品中的Zn和O全部以化合态存在而不存在Zn原子和O原子.但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空气中的氧和水蒸汽,薄膜质量期望通过生长合适过渡层得到改善.
关键词:
等离子体增强
,
化学气相沉积
,
SEM
,
EDAX
,
XPS
,
衬底
