于盛旺
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黑鸿君
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胡浩林
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范朋伟
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张思凯
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唐伟忠
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吕反修
人工晶体学报
以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层.利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析.实验结果表明,在较低的压力下,SiC涂层为胞状的纳米团聚物,且胞团的尺度随压力的升高而变...
关键词:
SiC涂层
,
硬质合金
,
沉积压力
,
金刚石涂层
许恒志
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唐伟忠
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于盛旺
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胡浩林
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惠大圣
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吕反修
功能材料
用射频反应磁控溅射方法制备了MeNx(Me=Ti、Zr、Hf)薄膜,研究了在富N2条件下不同的N2/Ar流量比对薄膜结构和光学性能的影响.掠角X射线衍射的分析结果表明,所制得的富氮的TiNx薄膜主要由TiN所组成,而富氮的ZrNx、HfNx薄膜则具有非晶态的结构.用分光光度计和傅里叶红外仪对薄膜的光...
关键词:
磁控溅射
,
红外波段
,
透过率
,
保护膜
