欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

电子束与电阻复合蒸发法制备 Zr-Cu 非晶薄膜及性能表征?

张倩 , 胡青卓 , 张博

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.12.008

主要采用电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统制备 Zr-Cu 二元非晶薄膜,衬底基板无冷却装置。通过X 射线衍射仪(XRD)、场发射透射电子显微镜(FE-TEM)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、微控四探针测量仪等仪器,系统地研究了样品沉积时间对薄膜厚度、微观结构、表面形貌以及电学性能的影响,另外还分析了与磁控溅射制备的 Zr-Cu 非晶样品的区别。结果显示,该复合镀膜技术制备的 Zrx Cu100-x 非晶薄膜玻璃形成成分范围为 x =30~85;薄膜的结构与性能对沉积时间比较敏感。样品随沉积时间的延长从非晶结构逐渐向非晶纳米晶复合结构转变;相比磁控溅射制备的薄膜样品,复合蒸发法制备的薄膜表面呈现较大尺寸的“团簇”形貌;样品的电阻率和方块电阻随沉积时间的延长逐渐减小。

关键词: Zr-Cu 非晶薄膜 , 复合蒸发 , 沉积时间

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词