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紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响

付爽 , 胡龙龙 , 孟庆伟 , 丁士进 , 范仲勇

功能材料

采用紫外光辐照超低介电常数多孔SiCOH薄膜,研究不同照射时间对薄膜结构和性能的影响。采用动态纳米压入技术测量薄膜的力学性能,发现随照射时间增加,薄膜的模量（Er）和硬度（H）不断提高。当辐照时间增至6h时,薄膜力学强度分别达到Er约7.4GPa,H约1.0GPa。傅里叶变换红外光谱（FT-IR）、...

关键词: 紫外辐照 , 多孔SiCOH薄膜 , 力学性能 , 低介电常数