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检索条件:作者=臧永丽  

  • 论文(3)

p-Si TFT栅绝缘层用SiNx薄膜界面特性的研究

张化福 , 袁玉珍 , 臧永丽 , 祁康成

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.008

以NH3和SiH4为反应源气体,在低温下采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在多晶硅(p-Si)衬底上沉积了SiNx薄膜.系统地分析讨论了沉积温度、射频功率、反应源气体流量比对SiNx薄膜界面特性的影响.分析表明,沉积温度和射频功率主要是通过影响SiNx薄膜中的si/N比和H含量影...

关键词: TFT , SiN , 薄膜 , 界面特性

ZnO∶Nb透明导电薄膜的制备及光电特性研究

周爱萍 , 刘汉法 , 臧永丽

功能材料

采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌(NZO)透明导电薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响.实验结果表明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向.溅射功率从40W增加到80W时,...

关键词: ZnO∶Nb薄膜 , 溅射功率 , 透明导电薄膜 , 磁控溅射

ZnAl_2O_4:Mn纳米晶的红-绿发光

周爱萍 , 张化福 , 臧永丽

材料科学与工程学报

利用溶胶-凝胶法制备了掺杂1.5%锰离子的ZnAl2O4晶体,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)以及荧光光谱仪对样品的结构和光致发光(PL)性能进行测试分析。结果表明,随着烧结温度的升高,晶体的X射线衍射峰逐渐增强,晶体结构得以改善。当受到427nm的激光源激发时,晶体会发射出峰值为51...

关键词: 溶胶-凝胶法 , ZnAl2O4:Mn晶体 , 光致发光