杨大鹏
,
赵永年
,
李英爱
,
苏作鹏
,
杜勇慧
,
吉晓瑞
,
杨旭昕
,
宫希亮
,
张铁臣
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.011
本文用射频磁控溅射方法在片状c-BN晶体基底上生长了c-BN薄膜,显微拉曼光谱(μ-RS)和扫描电子显微镜(SEM)测试结果表明:沉积的薄膜是大约10μm厚、高结晶性、电子透明的高纯c-BN薄膜.岛状和层状生长模式在试验中清晰的展示出来.同时在生长的c-BN薄膜内部和被遮盖的基底部分上发现了籽晶.
关键词:
高结晶度
,
生长速率
,
生长模式
