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化学气相沉积金刚石膜技术专利分析

电镀与涂饰

从国内外专利文献方面分析了化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的研究与应用发展情况.

关键词: 金刚石膜 , 化学气相沉积 , 专利 , 综述

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