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铌酸锂衬底上磁控溅射ITO薄膜及其光电性质研究

柯笑晗 , 陈云琳 , 朱亚彬 , 范天伟

人工晶体学报

在铌酸锂(LN)晶体衬底上磁控溅射铟锡氧化物(ITO)薄膜,研究了射频磁控溅射制备ITO/LN薄膜的最佳工艺.采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)分析了透明导电ITO膜的制备工艺参数对薄膜表面形貌和晶体结构的影响,同时应用四探针电阻率测量和紫外可见光谱测量技术对所研制的ITO/LN膜的光...

关键词: ITO薄膜 , 铌酸锂 , 磁控溅射 , 光电性质