李明升
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范永中
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张淑娟
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祝文
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段为梁
稀有金属材料与工程
利用非对称双极脉冲磁控溅射技术,双极分别接纯铬靶和纯铝靶,通过调整两靶的功率,以反应溅射的方式沉积不同铬铝比的氮化铬铝涂层.研究不同Al含量的氮化铬铝涂层的结构和硬度.所获得的涂层依次为Cr0.95Al0.05N、Cr0.9Al0.1N、Cr0.83Al0.17N和Cr0.75Al0.25N,均为B...
关键词:
非对称双极脉冲磁控溅射
,
氮化铬铝涂层
,
微观结构
,
硬度
范永中
,
张淑娟
,
涂金伟
,
孙霞
,
刘芳
,
李明升
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00292
分别在未施加偏压和施加-100V偏压条件下,利用磁控溅射技术在压气机叶片用1Cr11Ni2W2MoV热强不锈钢基体上沉积了Ti0.3Al0.7N和Ti0.3gAl0.55Si0.05Y0.01N硬质涂层.实验结果表明,施加偏压及Si和Y掺杂明显改变了涂层的相结构,提高了涂层致密度,施加-100 V偏...
关键词:
磁控溅射
,
(Ti,Al)N
,
Si和Y掺杂
,
抗氧化性能
,
硬度
,
结合力
