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硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟

黄国强 , 潘金花 , 毛俊楠 , 王红星 , 范江洋

人工晶体学报

本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟.之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大...

关键词: 硅烷 , 化学气相沉积 , 多晶硅 , 数值模拟