陶琨
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何向军
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江海
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范玉殿
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李恒德
材料研究学报
采用中能离子束辅助沉积(IBAD)技术,在单晶Al2O3(0001)基片上沉积Mo膜,在GaAS(001)基片12合成Fe16N2薄膜用HREM等研究了Mo膜-Al2O3(0001)、Fe16N2膜-GaAs(001)界面的显微结构结果表明:Mo膜的晶粒呈细小性状或纤维状,晶粒平均尺寸约8nm,Fe...
关键词:
离子束辅助沉积(IBAD)
,
null
,
null
王晨
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杨杰
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范玉殿
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陶琨
材料研究学报
利用电子枪蒸镀Al_2O_3,同时辅以Ar 离子轰击的离子束辅助沉积方法(IBAD)制备Al_2O_3薄膜,并与单纯电子枪蒸镀方法(PVD)制备的薄膜进行了结构和表面形貌的比较。IBAD 法可以得到结构均匀致密的γ-Al_2O_3晶态薄膜,而PVD 方法仅能得到非晶态疏松的结构。分析结果表明,薄膜沉...
关键词:
离子束辅助沉积
,
γ-Al_2O_3
,
thin film
