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纳米复合超硬薄膜的研究现状

赵红雨 , 范秋林 , 宋力昕 , 施尔畏 , 胡行方

无机材料学报

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

关键词: 超硬薄膜 , nanocomposite structure , CVD , magnetron sputtering

纳米复合超硬薄膜的研究现状

赵红雨 , 范秋林 , 宋力昕 , 施尔畏 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.01.002

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

关键词: 超硬薄膜 , 纳米复合结构 , CVD , 磁控溅射

磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜

范秋林 , 赵红雨 , 宋力昕 , 张涛 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.05.018

介绍一种新型磁束缚电感耦合等离子体增强的物理化学气相沉积复合系统, 并用该系统通过反应磁控溅射TiSi合金靶, 在氩气和氮气等离子体作用下, 在单晶硅衬底上制备了nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和高分辨率透射电子显微镜的分析和观察结果清晰地表明该薄膜是具有纳米结构的复合薄膜, 主要由镶嵌在非晶态Si3N4 基体中的TiN纳米晶粒组成, TiN晶粒的尺寸约为3nm.

关键词: 纳米复合薄膜 , 磁束缚等离子体 , 氮化钛 , 氮化硅

功能梯度材料当量热导率的计算方法

范秋林 , 胡行方 , 郭景坤

无机材料学报

本文首次提出了功能梯度材料当量热导率的概念，并推导了当量热导率的计算方法，该方法的确定不仅可以指导FGM的成分、组织和结构设计，而且还可以加速FGM实用化的进程，具有重大的理论意义和巨大的实用价值.

关键词: 当量热导率 , functionally gradient materis , thermal percolation effect

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