孙莉
,
范红玉
,
李梦轲
,
刘东平
,
杨德明
,
杨杞
,
牛金海
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.增刊(Ⅰ).014
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜.采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017 ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验.通过基于原子力显微镜(AFM)的纳米压痕和纳米划痕...
关键词:
非晶碳氢薄膜
,
辐照
,
硬度
,
纳米压痕
杨铭
,
范红玉
,
解晓东
,
郭一鸣
,
刘云鹤
,
李坤
材料研究学报
doi:10.11901/1005.3093.2015.428
利用低能H离子对20 MeV W6+预注入和未注入的钨样品进行辐照实验,考察H离子能量(20-520 eV)和辐照温度(673-1073K)变化对钨表面微结构的影响.采用非破坏性的导电模式原子力显微镜和扫描电镜分析预注入和未注入钨样品的表面形貌和内表面缺陷分布情况.结果表明,辐照后的样品表面出现大量...
关键词:
金属材料
,
钨
,
导电原子力显微镜
,
表面损伤
,
辐照
