孙莉
,
范红玉
,
李梦轲
,
刘东平
,
杨德明
,
杨杞
,
牛金海
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.增刊(Ⅰ).014
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜.采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017 ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验.通过基于原子力显微镜(AFM)的纳米压痕和纳米划痕技术,对He+辐照前后碳氢薄膜的表面硬度进行分析.结果表明,经He+辐照后碳氢薄膜的表面硬度明显增加,并且随着He+辐照剂量增加,碳氢薄膜的表面硬度呈逐渐增加的趋势.傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和拉曼光谱分析表明,He+辐照会导致碳氢薄膜中sp2C键含量明显增加,而sp3C键及H原子的含量明显降低,这可能是引起碳氢薄膜硬度变化的主要原因.
关键词:
非晶碳氢薄膜
,
辐照
,
硬度
,
纳米压痕
杨铭
,
范红玉
,
解晓东
,
郭一鸣
,
刘云鹤
,
李坤
材料研究学报
doi:10.11901/1005.3093.2015.428
利用低能H离子对20 MeV W6+预注入和未注入的钨样品进行辐照实验,考察H离子能量(20-520 eV)和辐照温度(673-1073K)变化对钨表面微结构的影响.采用非破坏性的导电模式原子力显微镜和扫描电镜分析预注入和未注入钨样品的表面形貌和内表面缺陷分布情况.结果表明,辐照后的样品表面出现大量的纳米尺寸凸起,高能W6+预注入的样品表面损伤要小于未注入的钨样品,意味着高能离子预注入会对材料的表面损伤起到抑制作用,但是当辐照温度高于1073 K时,这种抑制作用开始减弱.
关键词:
金属材料
,
钨
,
导电原子力显微镜
,
表面损伤
,
辐照
