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ZnO基薄膜晶体管有源层制备技术的研究进展

苏晶 , 刘玉荣 , 莫昌文 , 简平 , 李晓明

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132803.0315

氧化锌基薄膜晶体管(ZnO-TFT)器件的性能受到多种因素的影响,如半导体有源层、栅介质层的质量、栅介质与有源层的界面质量,其中有源层的质量起到至关重要的作用,而在影响器件有源层方面,制备方法是其中一个重要的因素.目前,已有多种ZnO半导体有源层制备技术应用于ZnO-TFT的制备(如原子层沉积、脉冲...

关键词: 氧化锌 , 薄膜晶体管 , 有源层 , 制备方法