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黄晓琴 , 夏义本 , 莫要武 , 王瑜 , 居建华 , 王鸿
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.020
以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体，用热丝CVD法在Al2O3陶瓷基片上沉积出 金刚石薄膜,用拉曼光谱，X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度 和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响，并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在 Al2O3衬底上的成核和生长机理。
关键词: 金刚石薄膜 , 热丝CVD , 拉曼光谱 , X射线衍射
文黎星 , 夏义本 , 莫要武 , 居建华 , 黄晓琴 , 王鸿
无机材料学报
用氧气-乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜，并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律．对基片进行适当的预处理，可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度．认为氧化铝陶瓷片与沉积金刚石薄膜之间易形成过渡层，初步探讨了在氧化铝陶瓷片上沉积金刚石薄膜的机理．
关键词: 氧化铝陶瓷 , diamond film , oxygen-acetylene flame
