莫金海
,
韦寿祺
,
何少佳
,
王红
,
邹云屏
人工晶体学报
建立了加热系统的数学模型,深入分析各类交流加热的特性及差别,指出恒功率加热方式温控效果最佳且与直流加热无明显区别.建立恒功率交流加热系统SABER仿真模型并深入分析系统构成特性,设计一个基于适当功率滤波和输出偏置的模拟PID控制器.仿真和实验结果表明,所设计交流调功器具有成本低、实时性强、适应性好、控制性能佳、温控精度高等特点,能较好地满足金刚石合成工艺的要求.
关键词:
人造金刚石
,
六面顶压机
,
PID控制
,
交流调功器
,
SABER仿真
