钱晓倩
,
葛曼珍
,
吴义兵
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杨辉
无机材料学报
层状复合是一种新型的陶瓷复合构型， 具有提高断裂韧性和强度的优异特性， 对优化陶瓷的显微结构和机械性能十分有效本文从层状复合界面结构出发， 综合评述了层状复合陶瓷的强韧化机制， 讨论基体单层强度、厚度， 界面的厚度和粘接强度等因素对断裂韧性等性能的影响， 探讨层状复合陶瓷的优化设计思路
关键词:
层状复合
,
null
,
null
,
null
孟祥森
,
袁骏
,
马青松
,
葛曼珍
,
杨辉
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.003
氮氧化硅薄膜综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点,具有优秀的光电性能,力学性能和稳定性能,已经在光电领域获得了广泛地应用,此外在材料改性方面也有广阔的应用前景.本文综合评述了几种氮氧化硅薄膜的制备方法,比较了各自的优缺点,并指出了今后制备方法的发展趋势.
关键词:
氮氧化硅
,
薄膜
,
制备
,
化学气相沉积
,
物理气相沉积
,
高温氮化
孟祥森
,
马青松
,
葛曼珍
,
杨辉
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2000.02.006
我们用常压化学气相沉积法(APCVD),以SiH4和NH3为先驱体,在较低的温度(＜700℃)下制备氮氧化硅(Si-O-N)薄膜,并对其性能进行了研究.研究结果表明氮氧化硅薄膜能使改性后平板玻璃硬度提高40%,并具有良好的抗高温氧化性,这种薄膜在材料表面改性领域有着广阔的应用前景.
关键词:
氮氧化硅
,
APCVD
,
硬度
,
高温氧化性
,
表面改性
魏文霖
,
孟祥森
,
袁骏
,
杨辉
,
葛曼珍
,
季振国
材料导报
氮氧化硅(SiON)薄膜是一种新型的薄膜材料,具有优良的充电性能、机械性能、钝化性能和化学稳定性能,但杂质氢的存在限制了它的应用.详细阐述了氮化硅薄中氢杂质的存在活动及其对薄膜性能的影响,并提出了降低氢含量的合理方法.
关键词:
氮氧化硅
,
薄膜
,
性能
,
杂质
,
氢
