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空气放电中自组织等离子体光子晶体研究

范伟丽 , 董丽芳

人工晶体学报

采用平板双水电极介质阻挡放电装置,通过放电丝的非线性自组织,在空气放电中获得不同对称性二维等离子体光子晶体.随外加电压升高,等离子体光子晶体经历了从等边三角晶格到四方晶格结构的转化.在实验测量数据的基础上,采用平面波展开方法计算了等离子体光子晶体转化过程中的带隙结构变化.提出了一种在空气放电中实现的新型可调等离子体光子晶体.

关键词: 等离子体光子晶体 , 平面波展开方法 , 带隙结构

蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响

尚勇 , 董丽芳 , 马博琴 , 王志军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.035

本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1~5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.

关键词: 金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 蒙特卡罗模拟 , 气相过程 , 甲烷浓度

电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件

董丽芳 , 尚勇 , 王志军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.036

采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟.研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法.本工作对于有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义.

关键词: 金刚石薄膜 , 化学气相沉积 , 氢原子发射谱线 , 最佳成膜条件

自组织等离子体光子晶体的光谱研究

冯建宇 , 董丽芳 , 魏领燕

人工晶体学报

利用双水电极介质阻挡放电装置,在空气和氩气组成的混合气体气体放电中,观察到了一种由放电丝自组织而形成的等离子体光子晶体.该晶体的结构由多个四边形的晶胞构成.每个晶胞由中心点、交叉点及连线组成,分别对应细等离子体柱、粗等离子体柱和片状等离子体.利用发射光谱法,研究了处于不同位置的等离子体状态,以及等离子体参量随着氩气含量的变化趋势.通过采集氮分子(N2)第二正带系(C3Πu→B3Πg)发射谱线,分别计算出了不同位置的等离子体的分子振动温度.通过氩原子696.57 nm(2P2→1S5)谱线的展宽,研究了不同位置的电子密度.实验结果表明:不同位置的等离子体具有不同的分子振动温度和电子密度.即他们所处的等离子体状态是不同的.在相同的氩气含量下,粗等离子体柱、细等离子体柱和片状等离子体的分子振动温度依次增高,且均随着氩气含量的增加而下降.在相同的氩气含量下,粗等离子体柱、细等离子体柱,片状等离子体的电子密度依次减小,且随着氩气含量的增加而下降.因为等离子体电子密度不同,对光的折射率是不同的,因此在该晶体结构中,粗等离子体柱、细等离子体柱,片状等离子体具有的折射率是不同的,他们与周围未放电的区域自组织形成了结构比较复杂的等离子体光子晶体.

关键词: 等离子体光子晶体 , 介质阻挡放电 , 发射光谱 , 等离子体参量

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