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Co掺杂ZnO薄膜的湿化学法制备及其光致发光光谱

王爱华 , 卢成 , 仲志国 , 吕林霞 , 张兵临 , 董向丹

人工晶体学报

采用湿化学法在Si衬底上生长了纳米棒结构的Co掺杂ZnO薄膜,并研究了掺杂浓度对生成样品结构和性能的影响.研究表明这种湿化学法成本低廉、收益高、重复性良好.样品的XRD结果表明掺杂的ZnO没有出现杂相.SEM结果表明掺杂样品是由ZnO纳米棒团簇结构组成,且团簇的密度随着Co掺杂浓度的增大而增大.薄膜...

关键词: Co掺杂ZnO薄膜 , 光致发光 , 湿化学法