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AlN/Si3N4纳米多层膜的显微结构及力学性能

喻利花 , 董松涛 , 董师润 , 许俊华

材料热处理学报

采用射频磁控溅射方法制备了AlN、Si2N4单层薄膜和调制比为1的不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜.薄膜采用X射线衍射仪、X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪进行表征.结果表明:AlN是多晶,Si3 N4呈非晶,多层膜的界面非常尖锐;单层膜及多层膜均呈岛状生长,多层膜的表面粗糙度介于两单层膜之间,并且随着凋制周期的增加,粗糙度下降;多层膜在所研究的层厚范围内,硬度值比根据混合法则计算得到的值高3.5GPa左右,没有出现超硬效应.

关键词: AlN/Si3N4纳米多层膜 , 显微结构 , 表面粗糙度 , 硬度

AlN/w-BN纳米多层膜的制备及其显微结构

喻利花 , 农尚斌 , 董师润 , 许俊华

机械工程材料

用射频磁控溅射法在硅基片上制备了AIN、BN单层膜及AIN/BN纳米多层膜,采用X射线衍射仪、傅立叶变换红外光谱仪、小角度X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜和原子力显微镜等对其进行了表征.结果表明:AIN/BN多层膜具有(103)择优取向,并且当AIN层厚固定时,随着BN层厚的增加,(103)择优取向得到强化;AIN单层膜及AIN/BN纳米多层膜均呈岛状生长,多层膜界面粗糙度及表面粗糙度均随着BN层厚的增加而减小;多层膜中BN的结构与BN的层厚有关,当AIN层厚保持在4.0 nm且BN层厚为0.32~0.55 nm时,可获得晶态w-BN,当BN层厚增至0.74 nm时,BN呈非晶态.

关键词: AIN/w-BN纳米多层膜 , 射频磁控溅射 , 显微结构

磁控共溅射制备锆-硅-氮复合薄膜的显微组织与性能

董松涛 , 喻利花 , 董师润 , 许俊华

机械工程材料

通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征;研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响.结果表明:随着硅含量的增加,复合薄膜的ZrN(111)、(220)晶面衍射峰逐渐消失,呈现ZrN(200)择优取向;同时其性能逐渐提高,当硅、锆原子比为0.030时可获得最大硬度和最大弹性模量,分别为37.8 GPa和363 GPa;进一步增加硅含量,复合薄膜向非晶态转化,而薄膜的硬度和弹性模量迅速降低,抗氧化温度显著提高.

关键词: 锆-硅-氮复合薄膜 , 显微组织 , 抗氧化性能 , 力学性能

45钢热处理组织对声双折射影响的研究

杨九九 , 罗琅 , 董师润 , 魏勤

物理测试

采用回振法测试45钢的横波声速.实验结果表明,不同热处理的45钢有不同的组织,不同的组织对应不同的声双折射因子.实验研究发现,在自由边界且应力效应小的条件下,钢的晶粒细小且均匀时,声双折射因子小;反之,声双折射因子大.

关键词: 声弹性 , 热处理 , 组织 , 回振法

Ti(C,N)复合膜和TiN/Ti(C,N)多层膜组织和显微硬度

汪蕾 , 董师润 , 尤建飞 , 喻利花 , 李学梅 , 许俊华

材料热处理学报

采用非平衡反应磁控溅射的方法在Si(100)基片上沉积Ti(C,N)复合膜和不同调制周期、调制比的TiN/Ti(C,N)纳米多层薄膜.薄膜的微观结构和力学性能采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计进行表征.结果表明,Ti(C,N)复合膜的微观结构和力学性能与掺入C的含量有关;TiN/Ti(C,N)纳米多层膜的微观结构和力学性能与调制周期和调制比有关,其显微硬度在一定的调制周期和调制比范围内出现了超硬现象.Ti(C,N)、TiN/Ti(C,N)均为δ-NaCl面心立方结构;Ti(C,N)复合膜显微硬度提高是因为固溶强化,TiN/Ti(C,N)纳米多层膜硬度的提高主要是共格外延生长在界面处产生的交变应力场.

关键词: Ti(C,N)复合膜 , TiN/Ti(C,N)纳米多层膜 , 显微硬度 , 组织 , 超硬效应

玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时紧密接触面积扩大过程的动力学

陈铮 , 董师润

金属学报

在施加电压为500 V,连接温度为513-713 K的条件下,系统地研究了玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时两者间紧密接触面积扩大过程的动力学.结果表明,玻璃与Kovar合金之间紧密接触面积的扩大过程受玻璃的弹性变形或粘性流动控制(取决于连接温度).低于临界温度(约为663 K)时,紧密接触面积扩大过程的激活能约为67 kJ/mol(弹性变形控制),与玻璃电传导的激活能相近;高于该临界温度时,相应的激活能为195 kJ/mol(粘性流动控制).提出了阳极连接时玻璃与金属紧密接触面积扩大过程的动力学模型.

关键词: 阳极连接 , null , null , null

Cr1-xAlxN涂层的微结构和抗氧化性能研究

钟春良 , 董师润 , 喻利花 , 许俊华

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.06.005

采用磁控反应溅射法制备了一系列不同Al含量的Cr1-xAlxN涂层,通过能谱仪(EDS)测试涂层的成分,X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构,扫描电镜(SEM)观察涂层的表面形貌,研究了Al含量对涂层的微结构和高温抗氧化性能的影响.结果表明,涂层取CrN的面心立方结构生长,且呈(111)择优取向.随着Al含量增加,涂层的晶格常数减小,涂层的高温抗氧化性能显著提高.Cr0.6356Al0.3644N涂层随着氧化温度的升高,表面的Al含量略为上升,在900℃涂层产生裂纹失效.

关键词: 磁控溅射 , Cr1-xAlxN涂层 , 微结构 , 抗氧化

玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时紧密接触面积扩大过程的动力学

陈铮 , 董师润

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.02.006

在施加电压为500 V,连接温度为513-713 K的条件下,系统地研究了玻璃与Kovar合金电场辅助阳极连接时两者间紧密接触面积扩大过程的动力学.结果表明,玻璃与Kovar合金之间紧密接触面积的扩大过程受玻璃的弹性变形或粘性流动控制(取决于连接温度).低于临界温度(约为663 K)时,紧密接触面积扩大过程的激活能约为67 kJ/mol(弹性变形控制),与玻璃电传导的激活能相近;高于该临界温度时,相应的激活能为195 kJ/mol(粘性流动控制).提出了阳极连接时玻璃与金属紧密接触面积扩大过程的动力学模型.

关键词: 阳极连接 , 电场力 , 紧密接触 , 动力学 , 激活能

阳极连接中碱金属双离子迁移模型

周青春 , 陈铮 , 董师润

功能材料

在假设玻璃中仅有两种可动碱金属离子的情况下,提出了一个金属-玻璃电场辅助阳极连接模型.根据该模型,玻璃中Na和K耗尽层厚度在演化过程中成比例,它们的演化规律决定于耗尽层边上的负电荷层.数据拟合结果表明,文献¨]报道中的Na和K耗尽层厚度与连接时间的关系可用时间的对数函数很好地描述.K富集层起因于K+离子的中和,Na耗尽层边上的负电荷产生的电场引起了实验中测得K+离子跃迁激活能与Na+离子的激活能几乎相等.阳极连接过程中不存在稳态,总可观测到微小电流,该电流仍源于离子电导.

关键词: 阳极连接 , 碱金属 , 耗尽层 , 离子

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