喻利花
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董松涛
,
董师润
,
许俊华
材料热处理学报
采用射频磁控溅射方法制备了AlN、Si2N4单层薄膜和调制比为1的不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜.薄膜采用X射线衍射仪、X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪进行表征.结果表明:AlN是多晶,Si3 N4呈非晶,多层膜的界面非常尖锐;单层膜及多层膜均呈岛状生长,多...
关键词:
AlN/Si3N4纳米多层膜
,
显微结构
,
表面粗糙度
,
硬度
董松涛
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喻利花
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董师润
,
许俊华
机械工程材料
通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征;研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响.结果表明:随着硅含量的增加,复合薄膜的ZrN(111)、(220)晶面衍射峰逐渐消失,呈现...
关键词:
锆-硅-氮复合薄膜
,
显微组织
,
抗氧化性能
,
力学性能
喻利花
,
薛安俊
,
董松涛
,
许俊华
材料热处理学报
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响.结果表明:用Ti0.33Al0.67合金靶制备的Ti-Al-N复合膜呈双相共存...
关键词:
Ti-Al-Si-N
,
磁控溅射
,
微结构
,
显微硬度
孙宁
,
董松涛
,
姚淑华
人工晶体学报
采用光学浮区法生长了层状过渡金属氧化物Bi2Sr2-xCazCo2Oy(x=0,2)晶体.通过XRD,SEM和TEM结构表征,表明了生长的晶体为层状晶体,并确定了晶体生长的方向垂直与c轴.研究了晶体的热电性能,包括Bi2Ca2Co2Oy和Bi2Sr2Co2Oy晶体ab面的Seeback系数和电阻率,...
关键词:
光学浮区法
,
Bi2SrCa2Co2Oy晶体
,
电输运
