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气体微机电传感系统中的片上ESD保护

崔强 , 董树荣 , 刘俊杰 , 韩雁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.036

摘要是本文提出了一种应用于微机电系统嵌入式传感器片上系统新工艺上的静电放电防护器件的电路结构.这个静电放电防护结构采用了以地端为参考电位的,多指条晶闸管类器件,包括以下几个部分1)输入/输出防护,2)电源钳位3)微机电处理过程中的内部传感器电极.本工作也提出了一种在有限的芯片面积下实现静电放电防护等级要求的多指条版图布局.这种静电放电防护设计体系在器件级和片上系统级都得到了测试和验证,有效性和鲁棒性都得到了证实.测试数据表明采用了本防护体系的片上系统在不引入闩锁,漏电流只有10-10A的情况下承受了4.1kV的人体放电模式的静电测试.

关键词: 静电放电 , 片上系统气体传感器 , 微机电系统 , 晶闸管 , 回滞曲线

低辐射薄膜的研究进展

金炯 , 王德苗 , 董树荣

材料导报

低辐射薄膜(Low-E Film)发展了20多年,它的高可见光透射率和高红外紫外光的反射率被应用在很多领域.低辐射薄膜一般由在线法和离线法制备,所得结构不同,性能也有较多差异.时低辐射薄膜的制备方法、性能,以及最新研究进展和应用进行了综述,并对2种类型的低辐射薄膜进行了比较.

关键词: 低辐射薄膜 , 研究进展 , 综述

基于磁控溅射技术的电磁屏蔽层研究

杜元甲 , 董树荣 , 邵净羽

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.025

为了解决电子系统塑料机盒的抗EMI问题,提出了一种采用多靶磁控溅射技术对塑料内表面进行金属化的新环保工艺,利用屏蔽效能对电磁兼容性作了理论分析,并对金属化层的膜系结构、溅射工艺、附着强度等作了较为深入的研究.研究结果表明:衰减损耗是各层屏蔽效果线性相加的结果;反射损耗与各层相对位置关系无关;层数多或各屏蔽层的反射越大,则屏蔽效果越好.试验表明:采用Cu/1Cr18Ni9Ti的金属屏蔽层结构,可以获得良好的屏蔽效能及耐候性,其中500nm Cu+100nm 1Cr18Ni9Ti较宜.

关键词: 电磁屏蔽 , 塑料 , 磁控溅射 , 屏蔽效能

铁电薄膜应用研究进展

徐文彬 , 王德苗 , 董树荣

材料导报

简要综述了铁电薄膜在铁电存储器、MEMS系统、微波器件、光电器件等几个方面的典型应用,并对国内铁电薄膜的研究及发展作了概述.

关键词: 铁电薄膜 , 铁电存储器 , MEMS

压电变压器的研究进展

余厉阳 , 王德苗 , 董树荣

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.026

压电变压器利用压电陶瓷材料自身的压电和逆压电效应来实现升降压,同传统的电磁变压器相比较,具有体积小、无电磁污染、升压比随工作频率和阻抗变化的特点.本文详细评述了用于压电变压器的铁电陶瓷材料的电畴特性、性能参数和掺杂改性的方法,以及压电变压器的变压原理、一般等效电路图和各种各样的压电变压器,分析了现阶段压电变压器存在的问题,并展望了压电变压器的发展方向.

关键词: 电畴特性 , 压电变压器 , 压电陶瓷材料 , 等效电路图

纳米碳管增强铜基复合材料的力学性能和物理性能

董树荣 , 涂江平 , 张孝彬

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.z1.029

制备了纳米碳管增强铜基复合材料,研究了材料的一些重要力学和物理性能.结果表明:复合材料中纳米碳管的分布较均匀,其最佳体积分数为12%~15%.材料的断裂以纳米碳管的拔出和桥接为主,磨损主要是氧化磨损.热膨胀系数αc约为9.36×10-6/℃,存在加热-冷却膨胀曲线滞后现象.材料的电阻率约为2.7×10-6Ω·cm,孔隙率是电阻率的重要影响因素.

关键词: 纳米碳管增强铜基复合材料 , 断裂行为 , 磨损行为 , 热膨胀 , 导电性

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