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氮气流量及后续热处理对多弧离子镀制备Ti2AlN涂层的影响规律

杨英 , 董瑜亮 , 高立军 , 宫骏 , 姜辛 , 孙超

中国腐蚀与防护学报

利用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti基材上低温沉积Ti-Al-N涂层,研究氮气流量及热处理工艺对涂层微观组织结构的影响。结果表明,沉积态涂层中不含三元层状陶瓷Ti2AlN MAX相,可能含有Ti3AlN(反钙钛矿结构)、TiN、α-Ti、fcc-Al及TixAly金属间化合物等。涂层经退火后在一定条件下可以形成Ti2AlN。涂层中的N元素含量及退火温度对Ti2AlN的形成起到重要作用。N元素含量过多不利于Ti2AlN的形成;提高退火温度可以促进Ti2AlN的形成。透射电镜(TEM)分析结果表明,退火过程中Ti2AlN的形成伴随着涂层微观组织结构的转变,从明显的层状结构转变为细小的等轴晶结构。

关键词: 电弧离子镀 , Ti-Al-N coatings , Ti2AlN , MAX phase , microstructure

(Ti,Al)N/Ti2AlN涂层的制备

董瑜亮 , 闫旭波 , 赵升升 , 宫骏 , 孙超

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00754

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层,研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响,以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化.XRD结果表明,通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分,使涂层经退火后生成Ti2AlN相.适当成分的沉积态涂层退火生成Ti2AlN相所需的最低退火温度为650℃,其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti2AlN相;退火过程中可能发生的化学反应为:AlTi3N+5Al→TiN+2Al3Ti和AlTi3N+3Al→Ti2AlN+Al3Ti.此外,延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti2AlN相含量略有增加.利用SEM对涂层进行了分析,测量了涂层的摩擦系数.

关键词: 电弧离子镀 , Ti2AlN涂层 , 高温退火 , 摩擦系数

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