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相互作用能的非均一性对三维薄膜初期生长的影响

张正超 , 唐吉玉 , 崔婧 , 伍达将 , 董贵仁

功能材料与器件学报

考虑到基底原子位置高低不等和位置无序等现象引起的基底与吸附原子之间相互作用能的非均一性对三维薄膜初期生长二层以上原子的影响,本文建立了一个非均匀基底上的三维薄膜初期生长模型,研究了FCC(100)衬底上沉积速率、沉积能量、非均一性离散程度和分布形态等因素对三维薄膜初期生长的影响.由于基底非均匀分布的...

关键词: 薄膜 , 相互作用能的非均一性 , 离散程度 , 分布形态