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  • 论文(4)

InP/InGaAsP异质结ICP刻蚀表面损伤

董雷 , 张瑞康 , 江山 , 赵圣之 , 刘水华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.009

本文详细研究了采用Cl2/H2刻蚀气体时,ICP刻蚀系统对InP/InGaAsP材料表面损伤的影响.通过设计特殊结构的InP/InGaAsP多量子阱结构,测量刻蚀区域及非刻蚀区域的光荧光强度的变化,并结合高斯深度分布模型对刻蚀损伤进行定量研究.详细研究ICP刻蚀系统中的压强、ICP功率、RF功率以及...

关键词: 等离子体刻蚀 , 干法刻蚀损伤 , 感应耦合等离子体 , 光荧光

聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺-乙二醛鞣剂制备的研究

高党鸽 , 马建中 , 吕斌 , 董雷 , 李运

功能材料

通过自由基聚合法制备了聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺;以聚合物中单体转化率、鞣制后坯革的收缩温度和增厚率为考察指标,通过正交实验设计法对聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺与乙二醛反应制备聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺-乙二醛(PDM-AM-GL)的合成条件进行了优化.实验结果表明,PDM-AM与乙...

关键词: 二烯丙基二甲基氯化铵 , 丙烯酰胺 , 乙二醛 , 鞣剂

异种材料淬火过程的有限元模拟

韩庆礼 , 刘国权 , 董雷 , 王安东 , 向嵩

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.04.031

钛合金扩散焊接轴承钢材料由于含有钒、铜、镍中间层,在淬火过程中容易从多层材料界面处开裂.因此利用纳米显微力学探针测量了材料的弹性模量,然后采用ANSYS有限元软件对淬火中钛合金焊接轴承钢材料进行了有限元(FEM)模拟,根据得到的温度场以及应力场分布,找出了容易诱发界面处产生裂纹的原因.模拟表明淬火初...

关键词: 钛合金 , 轴承钢 , ANSYS , 有限元(FEM)

聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺改性蒙脱土的研究

高党鸽 , 马建中 , 吕斌 , 李运 , 董雷

功能材料

制备了系列数均分子量为5500、6000、8500和20000的聚二烯丙基二甲基氯化铵-丙烯酰胺;对聚合物进行纯化处理后,采用提纯聚合物、未提纯聚合物和质子化后的提纯聚合物进行钠基蒙脱土的改性;选用数均分子量为6000的提纯聚合物进行了不同用量聚合物改性钠基蒙脱土的研究.结果表明,本实验条件下制备的...

关键词: 聚二烯丙基二甲基氯化铵 , 丙烯酰胺 , 蒙脱土 , 插层 , 改性

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