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溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性

熊惠芳 , 蒋力立 , 唐新桂 , 刘秋香

稀有金属材料与工程

在Vt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用溶胶-凝胶法制备出多(Pb(1-x)/100Lax/100)Ti(1-x/4)/100O3(x=28,简称PLT28)薄膜.PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25~30 nm,薄膜均匀致密.PLT28薄膜在300 kV/cm电场作用下,自发极化强度(Ps)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(Ec)分别为11.9 μC/cm2、0.77 μC/cm2和8.1 kV/cm.在外加电场363 kV/cm时,PLT28薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 钛酸镧铅 , 薄膜 , 铁电存储器 , 介电调谐特性

CaRuO3电极对(Ba,Sr)TiO3薄膜的介电特性的影响

熊惠芳 , 唐新桂 , 易双萍 , 范仰才 , 蒋力立 , 陈王丽华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.014

在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用脉冲激光沉积工艺分别制备出了(110)外延取向生长的(Ba0.65Sr0.35)TiO3/CaRuO3(BST/CRO)异质结构薄膜;BST/CRO异质结构薄膜由纳米晶团簇组成,最大的团簇晶粒达500 nm,平均晶粒尺寸在60~80 nm,薄膜厚度为650 nm.BST/CRO异质结薄膜均为表面平滑和致密结构.BST/CRO异质结薄膜的介电常数和介电调谐率分别高达851和78.1%.与纯BST薄膜比较,用CRO作电极,增益介电常数与介电调谐率.

关键词: 脉冲激光沉积 , 钛酸锶钡薄膜 , 异质结构 , 介电调谐率

溶胶凝胶法制备掺铅钛酸钡纳米晶及其结构相变

范仰才 , 蒋力立 , 唐新桂 , 周歧发 , 张进修

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.05.005

采用溶胶-凝胶工艺制备了不同晶?粒大小的、掺铅(5mol%)钛酸钡(BPT)纳米晶. 用TEM、XRD和DSC研究了BPT样品?的晶粒大小、结构及其相变特性. 结果表明, 纳米晶BPT随着晶粒尺寸的减小, 由铁电四方相向顺电立方相过度,并且相变变得弥散. 其顺电--铁电相变随着晶粒尺寸的减小而消失. 另一方面, 随着晶粒尺寸的增加,其铁电四方--铁电正交相变消失,即抑制了其正交相的形成.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 纳米晶 , 晶粒尺寸 , 结构相变

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