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金属铜薄膜的制备与红外发射率特性研究

吴春 , 刘祥萱 , 蒋大勇 , 梁剑涛 , 吴友朋

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.02.011

利用化学镀铜工艺,以次亚磷酸钠为还原剂,在普通平板玻璃表面制备了金属铜薄膜.用扫描电子显微镜,X射线衍射仪,四探针电阻仪,红外光谱辐射计等对薄膜的表面形貌、晶体结构和光电特性进行了表征,重点研究了金属铜膜的红外发射率与波长以及电阻率的变化关系,并与经典的Hagen-Rubens关系式进行了对比.结果表明:铜膜的发射率随波长的增大而降低,在特定的波段,发射率随电阻率的升高而增大.

关键词: 铜薄膜 , 化学镀 , 电阻率 , 红外发射率

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