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退火温度对Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12铁电薄膜力学性能的影响

蒋大洞 , 郑学军 , 龚跃球 , 朱哲 , 彭金峰

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12201

利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(EU0.7Nd0.15)Ti3O12 (BENT)薄膜,并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理.通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量,采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力.BENT薄...

关键词: 弹性模量 , 硬度 , 残余应力 , 退火温度