陈昶
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张伟
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陈建
,
刘春海
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曾宪光
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杨瑞嵩
,
王龙
,
蒲国
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.04.025
利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了 Ni 亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对 Ni 亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X 射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结构以及表面形貌进行了表征。结果表明,磁控溅射法制备的Ni亚微米柱阵列具有多晶的面心立方结构,排列规则、粗细均匀,其直径约为400 nm。经400℃退火后,开始形成Al1．1 Ni0．9和AlNi金属间化合物。500℃退火后,出现空心Ni亚微米柱,且Ni亚微米柱体积膨胀变粗。600℃退火后,Ni亚微米柱部分脱落。
关键词:
AAO 模板
,
磁控溅射
,
Ni亚微米柱阵列
,
晶体结构
,
表面形貌
