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铁基底上扩散感应的CVD金刚石成核

唐璧玉 , 杨国伟 , 任志昂 , 蔡孟秋

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.1999.06.004

在硅和铁基底上同时进行CVD金刚石的沉积,利用硅基底上的金刚石成核感应金刚石在铁基底上直接成核.研究表明,硅和铁基底上不同的沉积过程导致了铁基底上碳原子表面扩散的加强,从而促成了CVD金刚石在铁基底上的直接成核.表面扩散对CVD金刚石成核有重要影响.

关键词: CVD金刚石 , 铁基底 , 感应成核 , 表面扩散