材料期刊网

载气流量对氧化锌纳米棒阵列的影响

蔡芳芳 , 魏鸿源 , 范海波 , 杨安丽 , 张攀峰 , 刘祥林

人工晶体学报

本文研究了在金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长过程中,锌(Zn)源和氧(O)源载气流量的改变对ZnO纳米棒阵列的影响.通过改变源材料载气的流量,得到了直径从150 nm到20 nm范围、均一性明显改善的ZnO纳米棒.采用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射图谱(XRD),拉曼光谱(Raman)...

关键词: 氧化锌纳米棒 , MOCVD , 载气流量 , 形貌