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30.4 nm光电成像系统分辨率的初步实验研究

薛玲玲 , 陈波 , 石晓光 , 薛国俊

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2003.04.023

本文基于微通道板MCP(Microchannel Plate)探测器件设计一套成像系统,用于对波长为30.4 nm的极紫外EUV(Extreme Ultraviolet)光进行成像.结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得490μm的成像系统的空间分辨率,并分析了影响系统分辨率的各种因素及为提高系统分辨率所应采取的措施.

关键词: 极紫外 , 激光等离子体 , 单色仪 , MCP