许俊华
,
薛雅平
,
曹峻
,
喻利花
稀有金属材料与工程
采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫描电子显微镜及其配套的能谱仪研究复合膜的相组成、力学性能、室温和高温下的摩擦性能.结果表明,TaMoN复合膜的微结构是由面心立方、密排六方与底心斜方组成的多相结构;TaM...
关键词:
TaMoN复合膜
,
磁控溅射
,
微结构
,
力学性能
,
摩擦性能
许俊华
,
薛雅平
,
曹峻
,
喻利花
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12498
采用磁控溅射仪制备了一系列不同V含量的TaVN复合膜,利用X射线衍射仪研究复合膜以及磨痕的相组成,利用纳米压痕仪表征复合膜的硬度,采用高温摩擦磨损实验机研究了复合膜的室温和高温摩擦性能.结果表明:TaVN复合膜的微结构为面心立方结构,随着V含量的增加,衍射峰择优取向由(200)转变为(111);Ta...
关键词:
TaVN复合膜
,
磁控溅射
,
力学性能
,
摩擦性能
