袁佳晶
,
卢文壮
,
王红军
,
徐锋
,
左敦稳
人工晶体学报
CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景.金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术.本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金...
关键词:
CVD金刚石
,
模型
,
微结构
,
HFCVD
林欢庆
,
卢文壮
,
左敦稳
,
徐锋
,
袁佳晶
,
马乐娟
人工晶体学报
本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Raman对制备的CVD金刚石涂层进行了分析测试.结果表明:优化后的流...
关键词:
铣刀
,
CVD金刚石
,
涂层
,
三维流场
吴小军
,
左敦稳
,
徐锋
,
王珉
,
何家源
,
袁佳晶
硅酸盐通报
化学气相沉积金刚石膜是聚优异力学、电学、热学性能于一体的材料.金刚石激光打孔过程中存在特有的石墨化现象使得其温度场的分布有别于其他材料,因而,开展CVD金刚石膜激光打孔温度场研究对于理解热加工机理和进行参数优化具有重要的指导意义.本文首先建立了考虑金刚石石墨化过程的激光打孔热力学模型,根据有限元模型...
关键词:
CVD金刚石膜
,
调Q Nd:YAG激光
,
打孔
,
温度场
,
有限元
