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多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望

本文根据国内外高纯氮化硅微粉制备的研究情况,综述了硅粉直接氮化法、硅亚胺热分解法、气相反应法等几种氮化硅粉末的主要制备方法,介绍了各种制备方法在生产多晶硅铸锭涂层用氮化硅微粉的优缺点,并从产品质量、成本等角度分析比较了各种制备方法的特点,指出了制备多晶硅铸锭用氮化硅粉末的主要发展方向.

关键词: 多晶硅 , 氮化硅 , 微粉 , 涂层

以丙烯酰胺(AM)为有机单体,N,N'-亚甲基丙稀酰胺(MBAM)为交联剂,过硫酸铵(APS)为引发剂,pH=3.5,温度为1190 ℃保温5 h的条件下,采用注凝成型方法制备熔融石英陶瓷;以氮化硅为添加剂,通过XRD、SEM等分析不同氮化硅添加量对熔融石英陶瓷的影响,结果表明,氮化硅促进石英陶瓷的烧结,不会导致方石英出现;试样常温抗折强度、体积密度随氮化硅添加量的增加而增大,而显气孔率随氮化硅添加量的增加而减小.当氮化硅添加量为2%时,试样常温抗折强度为37.13 MPa,体积密度为1.96 g/cm3 ,显气孔率为10%.

关键词: 熔融石英陶瓷 , 注凝成型 , 氮化硅 , 方石英

精细熔融石英陶瓷技术研究及开发应用的新进展

袁向东 , 吴翠珍 , 张联盟

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.06.034

概述了熔融石英陶瓷的发展历程和性能特点,介绍了石英陶瓷制造技术和性能提高的新进展,举例说明了石英陶瓷新产品在玻璃、能源、冶金、航天和国防军工等领域开发应用的新进展.

关键词: 熔融石英陶瓷 , 振动压力注浆成型 , 注凝成型 , 应用

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多晶硅铸锭涂层用高纯Si3 N4微粉的研究进展与展望

氮化硅对注凝成型熔融石英陶瓷性能影响的研究

精细熔融石英陶瓷技术研究及开发应用的新进展

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