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悬砂法工艺参数对精密切割用线锯制备质量影响的研究

高航 , 黄均亮 , 袁和平 , 滕晓辑

人工晶体学报

为实现KDP、CZT等光学元件用软脆功能晶体坯料的精密切割,研究了悬砂法制备电镀金刚石微粉磨料线锯工艺方法,通过扫描电镜形貌观测,试验分析了不同电流密度、电镀时间和金刚石悬浮量条件下制备的线锯样件质量,探讨了工艺参数对线锯电镀质量的影响及缺陷产生的原因.试验结果表明,悬砂法制备金刚石微粉磨料线锯能够...

关键词: 复合电镀 , 金刚石微粉磨料线锯 , 悬砂法