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ZnO薄膜p型转变的难点及解决新方法

曾昱嘉 , 叶志镇 , 袁国栋 , 黄靖云 , 赵炳辉 , 朱丽萍

材料导报

论述了ZnO薄膜p型转变的难点及其解决方法的最新研究进展,并讨论了Al+N+H共掺杂生长p-ZnO薄膜的掺杂机制,提出多层缓冲层生长工艺以实现p-ZnO薄膜的可控掺杂,进而优化薄膜性能.

关键词: p-ZnO H钝化 共掺 缓冲层

ZnO基纳米电子材料研究进展

胡幸鸣 , 袁国栋

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.04.038

纳米ZnO的许多优异性能使其成为人们研究的热点并得到广泛应用.ZnO是一种同时具有半导体和压电双重特性的材料.运用不同的工艺,目前已生长出纳米线(棒)、纳米带、纳米环、四角形纳米结构、纳米笼、纳米螺旋等多种特殊形态的纳米ZnO.由这些许多独特的形态,可以看出纳米ZnO是纳米材料家族中可以生长出的结构最多样的成员之一.这些纳米结构在光电、传导、传感以及生化等不同领域有很多潜在的新颖的应用前景.

关键词: 纳米ZnO , 特性 , 器件

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