袁强华
,
张刚台
,
穆保霞
,
王淑英
,
崔秀花
,
戴康
,
沈异凡
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.05.005
研究了Cs(6P)+Cs(6S)+He→Cs(5D)+Cs(6S)+He的碰撞能量转移过程.单模半导体激光器共振激发Cs原子至6P3/2态,利用另一与泵浦激光束反向平行激光束作为吸收线探测6P3/2态原子密度及其空间分布.缓冲气体增大了6P3/2和6S1/2原子间的能量转移,这可从测量由Cs(6P)...
关键词:
光谱学
,
三体碰撞转移
,
荧光
,
Cs
殷桂琴
,
袁强华
材料导报
详细介绍了目前采用旋转涂覆(Spin-on deposition)法制备硅基多孔低k薄膜材料(MSQ及HSD)的方法及技术,其次介绍了用FTIR对低介电MSQ及HSQ薄膜的结构的分析,最后指出了等离子体处理对薄膜表面改性研究的主要进展以及存在的问题和今后的研究方向.
关键词:
低k多孔材料
,
SOD沉积技术
,
等离子体处理