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影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究

选用二氧化硅抛光液抛光4H导电SiC晶片表面,探究影响SiC晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量.实验结果表明,SiC表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果.保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,SiC表面去除速率先增加后保持不变.在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,Si...

关键词: 碳化硅 , 化学机械抛光 , pH值 , 压力 , 双氧水

YCl_3-AECl_2(AE=Mg,Ca,Sr,Ba)二元相图的研究

袁文霞 , 马淑兰 , 乔欣 , 庄卫东 , 邢献然 , 乔芝郁

金属学报

用差热分析法测定了ＹＣｌ_３一ＳｒＣｌ_２体系二元相图，并用Ｘ时线衍射法验证了该二元体系中新相的生成。使用ＣＡＬＰＨＡＤ技术评估和优化了ＹＣｌ_３一ＡＥＣｌ_２（ＡＥ＝Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）系列四个二元相图和热力学性质，取得了热力学性质和相图自相一致的结果。

关键词: 稀土氯化物 , phase diagram , thermodynamics , molten salt

无铅锡基钎料合金设计和合金相图及其计算

乔芝郁 , 谢允安 , 曹战民 , 袁文霞 , 孙勇 , 祁更新

中国有色金属学报

阐述了无铅钎料合金设计的原则, 讨论了合金相图及其计算在无铅锡基钎料合金设计中的作用. 利用相图计算技术筛选了可能代替Pb-Sn共晶钎料合金的Sn-Zn-In三元(x(Zn)＜0.11, x(In)=0.10～0.14)和Sn-Zn-In-Ag四元(x(Sn)=0.800, x(In)=0.090,...

关键词: 钎料合金 , 无铅钎料 , 相图 , 相图计算

微米级SiC/Pt复合物的光催化产氢性能研究

杨静静 , 何勇平 , 彭媛 , 袁文霞

合成材料老化与应用

通过光照法、水热法、乙二醇还原法制备得到了SiC/Pt复合物,其中光照法制备得到的复合物Pt-SiC-P在紫外可见光下的产氢性能最好,Pt负载量为质量分数0.2％时复合物在紫外光下的产氢能力达到75μmol·h-1·g-1,是纯SiC的15倍.Pt的负载不仅有效分离了光生电子和空穴,还减小了SiC的...

关键词: 碳化硅SiC , 氢气 , 铂 , 复合物

L12-Ni3 Ga和DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物的活度、热力学因子和互扩散系数

黄永章 , 袁文霞 , 乔芝郁

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2005.02.014

基于Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物中Ga和Al的活度,利用Φ=xi·(e)lnαi/(e)xi分别计算了不同温度时Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3Al相中扩散的热力学因子Φ.计算表明,在化学计量比处附近Ll2-Ni3Ga和DO3-Fe3 Al相中扩散的热力学因子Φ趋于...

关键词: 非化学计量金属间化合物 , 活度 , 扩散的热力学因子 , 互扩散系数

Ni-Sb二元合金的相关系与热力学性质的研究

黄永章 , 袁文霞 , 乔芝郁

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.04.024

利用非等温等蒸气压法研究了Ni-Sb二元合金的相关系,确定了Ni5Sb2和γ-NiSb的相边界.当温度高于715℃时Ni-Sb体系中不存在Ni3Sb相,只有Ni5Sb2相存在,Ni5Sb2的相边界是(原子分数)29.42%～31.6%Sb,γ-NiSb的相边界为(原子分数)50.2%～52.58%S...

关键词: 非等温等蒸气压法 , Ni-Sb二元合金 , 活度 , 相图

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影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究

YCl_3-AECl_2(AE=Mg,Ca,Sr,Ba)二元相图的研究

无铅锡基钎料合金设计和合金相图及其计算

微米级SiC/Pt复合物的光催化产氢性能研究

L12-Ni3 Ga和DO3-Fe3Al非化学计量金属间化合物的活度、热力学因子和互扩散系数

Ni-Sb二元合金的相关系与热力学性质的研究

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