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MOVPE生长的GaN基蓝色与绿色LED

陆大成 , 刘祥林 , 韩培德 , 王晓晖 , 汪度 , 袁海荣

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.01.001

报道用自行研制的LP-MOVPE设备,在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上生长出以InGaN为有源区的蓝光和绿光InGaN/AlGaN双异质结结构以及InGaN/GaN量子阱结构的LED,其发射波长分别为430~450nm和520~540nm。

关键词: GaN , InGaN , AlGaN , 双异质结 , 量子阱 , 蓝光LED , 绿光LED , MOVPE

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