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采用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出高质量的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射功率对ZnO:Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响,结果表明,溅射功率对ZnO:Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响.XRD表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射功率...

关键词: ZnO:Ti , 透明导电薄膜 , 溅射功率 , 磁控溅射

ZnO基紫外光电探测器的研究进展

刘云燕 , 袁玉珍 , 李洁 , 高绪团

材料导报

ZnO基紫外光探测器被认为是目前研究紫外探测器的重点之一.简要介绍了ZnO基紫外光探测器采用的基本结构:包括光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型;比较了不同结构的ZnO紫外光探测器所具有的优缺点,对光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型紫外光探测器近几年的发展分别进行了详细评述.

关键词: ZnO基 , 紫外光探测器 , MSM , 光电导 , 肖特基势垒 , p-n结

溅射压强对低阻高透过率掺钛氧化锌透明导电薄膜的影响

刘汉法 , 袁玉珍 , 张化福 , 袁长坤

人工晶体学报

利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的掺钛氧化锌透明导电薄膜(ZnO: Ti).研究了溅射压强对ZnO: Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明,溅射压强对ZnO: Ti 薄膜的结构和电阻率有显著影响.X射线衍射(XRD)表明,ZnO: Ti 薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜...

关键词: ZnO:Ti薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射压强 , 磁控溅射

膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响

袁玉珍 , 王辉 , 张化福 , 刘汉法 , 刘云燕

人工晶体学报

采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备出Zr,Al共掺杂ZnO(AZZO)透明导电薄膜.用XRD和SEM分析和观察了薄膜样品的组织结构和表面形貌.研究表明:制备的AZZO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.另外还研究了薄膜的结构、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.当薄膜厚度为8...

关键词: 磁控溅射 , Zr,Al共掺杂ZnO , 膜厚 , 透明导电薄膜

p-Si TFT栅绝缘层用SiNx薄膜界面特性的研究

张化福 , 袁玉珍 , 臧永丽 , 祁康成

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.01.008

以NH3和SiH4为反应源气体,在低温下采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法在多晶硅(p-Si)衬底上沉积了SiNx薄膜.系统地分析讨论了沉积温度、射频功率、反应源气体流量比对SiNx薄膜界面特性的影响.分析表明,沉积温度和射频功率主要是通过影响SiNx薄膜中的si/N比和H含量影...

关键词: TFT , SiN , 薄膜 , 界面特性

利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Zr透明导电薄膜

刘汉法 , 张化福 , 类成新 , 袁玉珍 , 袁长坤

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.02.006

利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底 PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO∶Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向.实验获得ZnO∶Zr薄膜的最小电阻率为1.55×10-3 Ω·cm....

关键词: ZnO∶Zr薄膜 , 柔性衬底 , 磁控溅射 , 透明导电薄膜

直流磁控溅射法低温制备ZnO:Ti透明导电薄膜及特性研究

刘汉法 , 张化福 , 袁玉珍 , 袁长坤 , 类成新

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.06.010

利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜.SEM和XRD研究结果表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.厚度为437 nm薄膜的电阻率为1.73×10~(-4) Ω·cm.所制备薄膜具有良好的附着性能...

关键词: ZnO:Ti薄膜 , 透明导电薄膜 , 磁控溅射 , 光电性能

柔性透明导电薄膜ZAO

张化福 , 袁玉珍 , 刘云燕

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.04.019

随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜有望成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注.柔性透明导电薄膜ZAO具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,成为当前的研究热点.总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法,介绍了柔性透明导电薄膜ZAO的结构和光电特性...

关键词: ZAO薄膜 , 柔性衬底 , 透明导电薄膜

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直流磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜

ZnO基紫外光电探测器的研究进展

溅射压强对低阻高透过率掺钛氧化锌透明导电薄膜的影响

膜厚对Zr,Al共掺杂ZnO透明导电薄膜结构和光电性能的影响

p-Si TFT栅绝缘层用SiNx薄膜界面特性的研究

利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Zr透明导电薄膜

直流磁控溅射法低温制备ZnO:Ti透明导电薄膜及特性研究

柔性透明导电薄膜ZAO

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