王龙成
,
季振国
,
芮祥新
,
袁骏
,
向因
,
汪茫
,
上田裕清
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.02.003
酞菁类化合物由于自身的各种特性在众多领域得到了广泛的应用,成为功能材料研究领域中的热点之一.在本文中,我们主要研究了真空沉积法制备的两种金属酞菁类材料PbPc与VOPc的单成分膜和复合膜的性质,并对其进行了紫外-可见吸收光谱和X光电子能谱的测试,发现两者之间的复合并不是简单的叠加,两种材料分子之间发生了相互作用.
关键词:
酞菁
,
真空共沉积
,
吸收谱
,
XPS
孟祥森
,
袁骏
,
马青松
,
葛曼珍
,
杨辉
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.003
氮氧化硅薄膜综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点,具有优秀的光电性能,力学性能和稳定性能,已经在光电领域获得了广泛地应用,此外在材料改性方面也有广阔的应用前景.本文综合评述了几种氮氧化硅薄膜的制备方法,比较了各自的优缺点,并指出了今后制备方法的发展趋势.
关键词:
氮氧化硅
,
薄膜
,
制备
,
化学气相沉积
,
物理气相沉积
,
高温氮化
魏文霖
,
孟祥森
,
袁骏
,
杨辉
,
葛曼珍
,
季振国
材料导报
氮氧化硅(SiON)薄膜是一种新型的薄膜材料,具有优良的充电性能、机械性能、钝化性能和化学稳定性能,但杂质氢的存在限制了它的应用.详细阐述了氮化硅薄中氢杂质的存在活动及其对薄膜性能的影响,并提出了降低氢含量的合理方法.
关键词:
氮氧化硅
,
薄膜
,
性能
,
杂质
,
氢