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p型ZnO薄膜研究进展

盛苏 , 方国家 , 袁龙炎

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.06.020

ZnO薄膜是一种应用广泛的半导体材料.近几年来,随着对ZnO的光电性质及其在光电器件方面应用的开发研究,ZnO薄膜成为研究热点之一.制备掺杂的p型ZnO是形成同质p-n结以及实现其实际应用的重要途径.近来已在p型ZnO及其同质结发光二极管(LEDs)研究方面取得了较大的进展.目前报道的p型ZnO薄膜的电阻率已降至10-3 Ω·cm量级.得到了具有较好非线性伏安特性的ZnO同质p-n结和紫外发光LED.本文就其最新进展进行了综述.

关键词: ZnO薄膜 , p型掺杂 , 同质p-n结