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两步酸修饰的多晶硅绒面结构

林育琼 , 冯仕猛 , 王坤霞 , 裴俊 , 刘绍军 , 刘峰

材料科学与工程学报

本文提出两步法制备多晶硅表面绒面技术,用两次化学腐蚀修饰多晶硅片的表面。实验中首先采用腐蚀液HF/NaNO2/H2O对多晶硅表面进行腐蚀,然后采用腐蚀液HF/HNO3/（NH4）2C2O4/H2O对其表面进一步修饰。通过多晶硅SEM表面形貌图分析,两步法修饰的多晶硅表面有形状如蚯蚓状的腐蚀坑,腐蚀坑...

关键词: 酸腐蚀法 , 表面结构 , 陷光效应 , 反射率