解晓艳
,
庞玉莲
,
肖时卓
,
杨丽
,
邹应全
,
陈萍
,
周树云
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2013.04.007
本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350-450 nm和深紫外区(DUV,248 nm)都有很好的吸收,在420 nm波段曝光下,(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)...
关键词:
非离子型光产酸剂
,
磺酸肟酯
,
产酸率
,
实时红外
