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基于SU-8负胶的微流体器件的制作及研究

王彬 , 陈翔 , 许宝建 , 金庆辉 , 赵建龙 , 徐元森

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.011

采用SU-8结构释放并键合玻片制作了多层结构的微流体芯片,探讨了影响芯片气密性和沟道堵塞的因素,并通过荧光显示验证,提供了一种快速、低成本的塑性微流体器件制作方法.

关键词: 微流体器件 , 结构释放 , SU-8键合 , 塑性

用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化

陆振华 , 许宝建 , 金庆辉 , 赵建龙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.015

PDMS是制作微流控芯片的主要材料.PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具.SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具.本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、可多次使用等要求,研究了影响SU-8模具结构与基底材料硅片的黏附...

关键词: PDMS , 塑性成型 , SU-8模具 , 黏附性

一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用

朱德峰 , 许宝建 , 程建功 , 金庆辉 , 赵建龙 , 徐元森

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.012

生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要.石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能.本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(...

关键词: QCM , SU-8 , PDMS , 混合 , 谐振

基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究

许宝建 , 金庆辉 , 赵建龙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.004

采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和"多次光刻、一次显影"工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题.利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分...

关键词: SU-8光刻胶 , 微喷阵列芯片 , 微阵列 , 表面处理

出版年份

2008年1篇

刊物分类

功能材料1篇

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