高春森
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邓跃全
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董发勤
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杨瑞
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解忠雷
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许春凤
材料导报
采用磁控溅射法制备了可钢化TiO2-Si3 N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3 N4复合玻璃涂层(TSCANZSLow-E玻璃),并对其微观结构和物理性能进行了测试.AFM分析发现,薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为0.323nm;XPS探测到膜层表面存在TiO2和Si3N4;四探针面电阻测试仪测定薄膜方阻Rs为8.81Ω/□,比辐射率值为0.108;光学性能分析显示可见光透过率达81%,在2500nm处的中远红外区反射率达80%;剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间具有良好的附着性;钢化测试结果符合国标要求.
关键词:
可钢化
,
TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4膜
,
微观结构
,
物理性能
